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電子芯片潔淨室淨化車間的現狀及風險
更新時間:2022.06.09   來源:Ob欧宝真人淨化設備有限公司   瀏覽次數:

新形勢下潔淨室技術的發展方向2.jpg

電子芯片的生產過程對於環境的潔淨度有著非常嚴格的要求,國內電子芯片潔淨車間的行業現在麵臨3個方麵的問題,即:高技術適應性與靈活性、複雜工藝與高技術風險、複雜設計施工與高建造費用。

一:高技術適應性與靈活性

在2000年-2010年間,國內電子芯片技術由5英寸(0.5μm)、6英寸(0.5μm)提升到了8英寸(0.18μm-0.25μm)。而目前,一些知名廠家的產品更是達到了12英寸(110nm-90nm-65nm),可以說電子芯片行業已經進入了“納米時代”。

國內電子芯片技術的高速發展與相關潔淨車間有著密切關聯,這類車間必須適應電子芯片技術的發展速度,以便滿足工藝不斷發展進步的要求。由於電子芯片潔淨車間的建造成本高,使用時間長,因此在設計與建造時要做好周全準備,使其具備高技術適應性與靈活性。

二:複雜工藝與高技術風險

對於電子芯片潔淨車間而言,複雜工藝與高技術風險是並存的。在產品生產過程中,如果塵埃顆粒控製不當,會對成品率造成不良影響,甚至還會造成整批產品的報廢。

除此之外,在電子芯片潔淨車間的氣流組織中和芯片生產過程中,如果車間內塵埃顆粒及靜電控製不當,會對產品合格率造成很壞的影響,有時候甚至會造成整批產品的報廢。輕則影響成品率,重則造成整個潔淨車間的報廢,其損失是難以估量的。

三:複雜設計施工與高建造費用

電子芯片潔淨車間有著嚴格的潔淨度要求,可想而知,其設計施工也是相當複雜的。此外,潔淨度越高,建造費用也越高。例如100級(FS 209)單向流潔淨室,僅室內裝修與空調潔淨係統的建造費用為10000元/㎡。再加上消防、三廢、供配電和自控係統,建造費用更是高達25000元-30000元/㎡。

當完成電子芯片潔淨車間的建造後,還要經過3方麵的驗收,即:空態驗收、靜態驗收、動態驗收,隻有完成驗收才能投入日常使用。因此,麵臨巨大的技術風險,以及後續運行、維護和調試、檢測的壓力。

Ob欧宝真人淨化設備有限公司建議大家,電子芯片潔淨車間是固態的,一旦建成基本無法更改,隻能改造升級,同時電子芯片淨化車間建造成本高,預期使用壽命長,因此在設計與建造時要做好長期預案,做周全準備,使電子芯片淨化車間建成後具備高技術適應性與靈活性。

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